优点:
蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好
蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中
蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗
Czochralski Method (柴氏拉晶法,又称为提拉法):Pull from the melt.
Kyropoulos Method (凯氏长晶法,又称为泡生法): Dip and turn.
温度梯度法(TGT法)
EFG Method (导模法,Edge Defined Film-fed Growth): Pull through die.
热交换法(Heat Exchange Method,HEM)
垂直水平温度梯度冷却法(Vertical Horiaontal Gradient Freezing,VHGF): 韩国Sapphire Technology Company (STC)技术。
ES2-GSA长晶法:美国Rubicon Technology Inc.技术。
由于钨钼具有耐高温、低污染等特性,被广泛用来做蓝宝石长晶炉的热场部件,包括钨坩埚/钼坩埚、发热体、钨筒、隔热屏、支撑、底座、籽晶杆、坩埚盖等。发热体采用鸟笼结构钨发热体或者钨网发热体,有利于提供均匀稳定的温场。
北矿新材为客户提供优质的30Kg、60Kg、85Kg、120Kg全套蓝宝石长晶炉热场及热场中的钨钼部件。